氮化镓外延生长过程的温度及反射率测试仪器
提高产品良率--准确真实测温；
直接测试氮化镓层的温度--紫外测试；
photoluminescence（PL）
获取可靠的晶体温度--利用光致发光波长的相关性；
实时测量反射率--利用快速脉冲光源；
防止残温振荡产生--近红外波仪器通过辐射率补偿方法温度振荡会明显可见；
防止数据倾斜--通常由于延迟采样造成
噪音小--采用光子技术仪器

Lumasense UV400紫外测温仪/UVR400紫外测温仪是专用于氮化镓衬底MOCVD外延生长测温的新仪器，这两款仪器可以直接测试衬底的温度而非传统测温仪测量的基座温度，进而利于更准确的控制衬底温度，提高成品率。这种测试系统为LED生产工艺提供了新的参考标准：成品的波长与工艺温度之间有可靠的相关性。
UVR400紫外测温仪相较于UV400紫外测温仪增加了一套635nm，工作频率0.5KHz的反射率计，因此可以测量沉积的厚度。
Lumasense公司是传感器解决方案者，在单晶硅和多晶硅领域有着30多年的经验。Lumasnse在2001年率先推出了反射率计（TR100）并建立了950nm光纤测温的主动发射率补偿标准。

技术参数：
温度范围：600-1300℃
子温度范围：在测温范围内可调，小温度间隔50℃
波长范围：383-410nm
探测器：光电倍增管，DCR＜1%
两次测试的延时：＜1us
分辨率：显示分辨率0.1℃；
发射率：0.100-1.000
透射率：0.100-1.000
T积分时间：小8ms
R采样率：500Hz
测试精度：≤1000C，3℃；＞1000℃，读数的0.3%
重复性：测值的0.1%+1℃

环境规格：
防护等级：IP40 IEC60529
安装位置：
环境温度：10-38℃
存储温度：-20-50℃
相对湿度：非凝露
重量：2.5Kg